Thema:	Nichtthermischer, reaktiver Atmosphärendruck-Plasmajet
Projektleiter:	Foest, Rüdiger, Dr., Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V. Greifswald Weltmann, Klaus-Dieter, Prof. Dr., Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V. Greifswald

Im Projekt B12 wird die raum-zeitliche Entladungsentwicklung eines nichtthermischen Atmosphärendruck-Plasmajets sowie seine Kinetik während der plasmagestützten chemischen Dampfphasenabscheidung (PE-CVD) von SiO_x-Schichten experimentell untersucht. Im Mittelpunkt steht die Untersuchung der niederfrequenten Entladungsdynamik und der Strukturierung der Mikroentladungen unter laminaren Strömungsverhältnissen. Die mikroskopischen Plasmaparameter werden mittels spektroskopischer Methoden erfasst und in Kooperation mit B3 gekoppelt mit einer hydrodynamischen Modellierung.