Teilprojekt B5


Thema: Dynamik und Reaktivität elektronegativer Plasmen
Projektleiter:   Meichsner, Jürgen, Prof. Dr., Institut für Physik, Uni Greifswald


Elektronenanlagerungs- und Detachment-Prozesse in elektronegativen Plasmen wie zum Beispiel Sauerstoff, werden mit Gaußstrahl-Mikrowelleninterferometrie und Laser-Photodetachment untersucht. Weiterhin wird deren Einfluss auf Instabilitäten und Entladungsmodi in kontinuierlichen sowie gepulsten kapazitiv und induktiv gekoppelten Radiofrequenzplasmen (niedrige/hohe Elektronegativität, α/γ-Mode, E/H-Mode) studiert. Zusätzliche Untersuchungen sind auf die Erzeugung von Pseudo-Gammaelektronen durch Stoß-Detachment negativer Ionen in der RF-Randschicht gerichtet.
 

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